中国光刻机（中国光刻机龙头企业） 中国有光刻机技术吗?中国有了自己的光刻机，中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。这是世界上第一台利用紫外光实现22nm分辨率的超分辨率光刻设备，为纳米光学... 科灵网 2023-03-08 363 #中国光刻机
